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Foresight in sight

用語集

MEMS

Micro Electro Mechanical System:微小電気機械システム
電気回路(制御部)と微細な機械構造(駆動部)を融合し、ひとつの基板上に集積させた部品
半導体製造技術やレーザー加工技術など各種の微細加工技術を用いて製造され、主にインクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズルや圧力センサー、加速度センサー、流量センサーなどに活用されている
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